研究課題
挑戦的萌芽研究
X線分析やX線顕微鏡の性能向上のためには,高精度なX線集光ミラーの開発は必要不可欠である.しかし,開口数の大きなX線集光ミラーは,その形状ゆえに高精度に作製することは困難を極める.本研究では,そのようなX線集光ミラーを高精度に作製できるコンピュータ制御イオンビーム加工装置を開発した.楕円ミラーを作製したところ,形状誤差1 nmで作製することに成功した.
X線光学,超精密加工