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2015 年度 研究成果報告書

短パルスマルチバンチ電子ビームプレ励起によるBEUV光源の実現

研究課題

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研究課題/領域番号 25600143
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 量子ビーム科学
研究機関早稲田大学

研究代表者

鷲尾 方一  早稲田大学, 理工学術院, 教授 (70158608)

連携研究者 坂上 和之  早稲田大学, 高等研究所, 助教 (80546333)
東口 武史  宇都宮大学, 工学部, 准教授 (80336289)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード高性能加速器 / レーザー・電子複合照射 / EUV光 / BEUV光 / レーザープラズマ
研究成果の概要

LPP用のCO2レーザーシステムの開発、更に電子ビームをプレパルスとして用いた際に発生するLPP光の量の計測を実施することで、将来の高効率LPP生成に向けた、基礎的なデータ取得を目的として研究を遂行した。 フォトカソード励起用レーザーの安定化とマルチパルス化を行い、その安定発生を実現した。またCO2レーザーについては、レーザーエンハンスキャビティの設計製作を行い、高Finesseシステムの構築に成功した。
最終的には、高出力のCO2レーザー(パルス幅、400ns)を利用しての、LPP生成実験を実施し、電子線のマルチパルス(10バンチ)プレ照射法により、出力を約1.5倍に高めることに成功した。

自由記述の分野

量子ビーム科学

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公開日: 2017-05-10  

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