高エネルギー用X線集光素子として実績のある屈折レンズを石英で作製することに挑戦し,レンズを試作した.集光性能の測定は,高分解能マイクロ回折計に新たに屈折レンズ調整機構を組み込み,試料位置で金メッシュスキャンをすることにより,ビームサイズとフラックスの測定を実施した.測定された最小のビームサイズは,20 keV: 1.9 μm(水平方向)×1.1 μm(垂直方向),25 keV: 1.5 μm(水平方向)×1.0 μm(垂直方向),30 keV: 1.6 μm(水平方向)×1.6 μm(垂直方向)であった. 30 KeVの集光ビームを利用し,InGaN超格子の熱安定性の評価を実施した.
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