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2014 年度 研究成果報告書

石英製屈折レンズを用いる放射光マイクロ回折によるInGaN層のピンポイント評価

研究課題

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研究課題/領域番号 25600151
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 量子ビーム科学
研究機関公益財団法人高輝度光科学研究センター

研究代表者

木村 滋  公益財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 副主席研究員 (50360821)

研究分担者 今井 康彦  公益財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 研究員 (30416375)
研究協力者 横川 俊哉  
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
キーワード放射光 / 集光素子 / 屈折レンズ / 石英 / GaInN
研究成果の概要

高エネルギー用X線集光素子として実績のある屈折レンズを石英で作製することに挑戦し,レンズを試作した.集光性能の測定は,高分解能マイクロ回折計に新たに屈折レンズ調整機構を組み込み,試料位置で金メッシュスキャンをすることにより,ビームサイズとフラックスの測定を実施した.測定された最小のビームサイズは,20 keV: 1.9 μm(水平方向)×1.1 μm(垂直方向),25 keV: 1.5 μm(水平方向)×1.0 μm(垂直方向),30 keV: 1.6 μm(水平方向)×1.6 μm(垂直方向)であった.
30 KeVの集光ビームを利用し,InGaN超格子の熱安定性の評価を実施した.

自由記述の分野

X線光学

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公開日: 2016-06-03  

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