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微細加工スピード・駆動モードやビームサイズなどを検討し、集束イオンビーム加工装置 (FIB)により作成したマスクの観察評価を行った。マスクの設計は、大きさが10μmであり、線幅が1μmの湾曲ラインで構成されている。
走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope;SEM)を用いて捉えた画像情報から、湾曲ラインどうしの間隔は、設計通り約1μm幅で作成されていることが明らかとなった。一方、3Dレーザー顕微鏡を用いた測定では、SEM観察で一様な高さに見えた湾曲ラインが、局所的には凸凹していることを明らかにした。レーザー光のプローブ径が0.5μm程度のため、正確な掘削深さを正確に評価することは困難であった。特に、深くなるに連れて、奥の方までは、矩形上に堀り進められていないことが、観察像から明らかになった。ラインが２つに分かれる接合部では、表面が荒れ、非常にもろい構造となっていた。要因としては、アスペクト比が1:20と大きいことが挙げられ、掘ったガドリニウムが側面に堆積し、FIBビームによる加工を少なからず阻害しているためであると考えられる。
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