| 研究課題/領域番号 |
25620198
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| 研究機関 | 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
櫻井 芳昭 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, その他 (50359387)
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| 研究分担者 |
佐藤 和郎 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員 (30315163)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| キーワード | イメージセンサ / 窒化ケイ素膜 / 塗布型透明導電膜 / PEDOT:PSS / 低電界電着 / ナノ顔料分散ポリマーコロイド / マイクロレンズアレイ |
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| 研究実績の概要 |
よりコンパクトな光システムを実現するために、集光度と色彩機能を合わせ持つフルカラーマイクロレンズアレイが必要となる。シリコンウエハ上にポジ型レジストを塗布し、マスク(50 μm角)を通じて露光を行った。ポリマーコロイド溶液と赤色顔料分散液から調製した溶液に、露光基板を浸漬し、電圧を印加した。露光部分のみに、赤色顔料分散ポリマーが堆積し、その後、加熱処理を行うことで、赤色レンズが得られた。さらに、同一基板上に、赤色レンズを作製した同じ方法で、緑および青色顔料分散体から、それぞれ緑および青色レンズを順次作製した。その結果、シリコン基板上に混色がなく、均一な大きさを有するマイクロレンズアレイを作製することに成功した。
集光および色彩機能を併せ持つカラーマイクロレンズアレイ(CMA)の作製方法の検討を行った。これまでにフォトリソグラフィーとポリマー電着法を組み合わせることで、導電性金属酸化物から構成される膜上へ赤、緑、および青色から構成されるCMAを作製した。本研究では、金属酸化物の代替材料として有機導電材料を用い、これまでに行った同様の手法を基にCMAの作製を試み、赤色マイクロレンズアレイを有機導電材料上に作製することに成功した（本内容については特許出願予定、明細書作成中）。
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