SiC単結晶やGa2O3単結晶など、導電性があり透明な材料を電極として用いて、放電加工や電解加工の加工現象の観察を行った。放電加工で発生する気泡と放電位置の観察を行い、気中、液中、気液境界で生じる放電の確率を比較した。また、連続して生じる放電の位置の規則性について調べ、加工の安定性との関連を解明した。また、電解加工については、静止液中で沸騰が生じずに電流が供給できる限界のパルス幅は5ms程度であることを明らかにした。また、噴流によりキャビテーションが生じ、加工精度を低下させる場合があること、さらに工具電極の回転による遠心力で気泡が回転中心に凝集し、中心軸上で加工が生じにくくなる現象を解明した。
|