• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2014 年度 研究成果報告書

陽極酸化を援用した金型用SiC材の高能率・高精度形状創成と表面仕上げ法の開発

研究課題

  • PDF
研究課題/領域番号 25630026
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関大阪大学

研究代表者

山村 和也  大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (60240074)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
キーワード陽極酸化 / 反応焼結SiC / 金型材料 / 形状修正 / 数値制御加工
研究成果の概要

電解質スラリー中における陽極酸化を援用した電気化学機械研磨法を高精度ガラスモールド用の金型材料として有望な反応焼結SiC材に対して適用することを目的とし、基礎加工特性の評価により適用可能性を探求した。反応焼結SiC材はSiC相とSi相の異なる2相から構成されるが、SiC相の酸化レートとSi層の研磨レートが等しくなる条件を適用し、滞留時間制御により反応焼結SiC材の平坦化を行ったところ、加工前後における平坦度は808 nmから184 nmに、自乗平均粗さに関しては2.65 nmから0.98 nmまでそれぞれ改善し、本手法により反応焼結SiC材の形状修正及び平滑化が同時に行えることが示された。

自由記述の分野

超精密加工

URL: 

公開日: 2016-06-03  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi