ダイヤモンドは,硬度,熱伝導率,絶縁特性,耐環境性に優れた特性を有し,高耐圧,低損失,高速動作を可能とする冷却フリーな次世代省エネルギーパワーデバイス用材料として期待されている.しかしながら,ダイヤモンドは,物質中で最高の硬度を有し,熱的・化学的に極めて安定であることから,その加工は困難であり,ダイヤモンドの高能率・高精度加工法の開発が急務となっている.このような背景のもとで,われわれは,乾式環境下で紫外光を援用した研磨法(紫外光援用研磨)を提案している.本研究では,提案手法によるダイヤモンドの加工特性を明らかにするなかで,高能率かつ高精度を同時に実現できる可能性を見出した.
|