カーボンオニオン超格子膜の創成

2014 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 25630033
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 加藤 孝久 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60152716)
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2015-03-31
• キーワード: トライボロジー / カーボンオニオン / イオン化注入法 / 超格子膜 / 粒径制御

研究成果の概要

本研究では，銀薄膜の成膜，カーボンイオン注入，熱処理のプロセスを最適化して，カーボンオニオン超格子の生成を行うことを目的として研究を行った．期間中にイオン注入における各パラメータの影響を検証するとともに，そのメカニズムを明らかにした．粒子ははじめ直径20nm程度まで成長するものの，それ以上は成長しないことが分かった．すなわち粒径のそろったカーボンオニオンを生成することが可能となり，さらに，熱処理温度を最適化することで配列したカーボンオニオンのみからなる膜を生成できることが明らかになった．

自由記述の分野

トライボロジー