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カンチレバーを3次元マイクロステージ上に直接取り付けたオンチップAFMを用いて最小接触面積での摩擦特性を調べた。FEM解析で、オンチップAFMの温度ドリフトが小さいことを示した。オンチップAFMのステージ変位は、垂直方向に1.1μｍ、水平方向に1.5μｍであった。-22.5nNの負の垂直荷重をSi製のプローブと移動ステージ間に加え、0.1～100 μm/sの走査速度で摩擦力分布を測定した。その結果、摩擦力分布像を得ることに成功し、速度に対して正の傾きを有する平均摩擦力が得られた。摩擦力と垂直荷重の関係を調べたところ、最小の接触面積は、原子数15個に相当する4.5平方nmとなった。
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