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2013 年度 実施状況報告書

大気圧プラズマ照射による金属表面の発色加工技術の創成

研究課題

研究課題/領域番号 25630106
研究種目

挑戦的萌芽研究

研究機関長岡技術科学大学

研究代表者

佐々木 徹  長岡技術科学大学, 工学部, 准教授 (90514018)

研究分担者 菊池 崇志  長岡技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (30375521)
中村 隆  釧路工業高等専門学校, その他部局等, 教授 (40198213)
原田 信弘  長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (80134849)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
キーワード発色加工 / 大気圧プラズマ / 誘電体バリア放電
研究概要

誘電体バリア放電から発生した大気圧プラズマによって金属表面に発色効果を得るために,表面酸化膜の膜厚の違いによる屈折率の変化と大気圧プラズマ照射時に発生する金属母材表面の荒さから発生する光の干渉に焦点を絞り,検討を行っている.本年度は,(1)生成されたプラズマ中の酸化剤(OHラジカルやオゾン,原子状酸素)と発色との関係,(2)酸化膜厚の測定,(3)酸化膜厚と表面荒さの光の干渉のモデリングを実施した.
生成されたプラズマ中の酸化剤と発色の関係を評価するため,レーザー誘起蛍光法及び可視及び近赤外領域の発光分光を行い,OHラジカル,オゾン,原子状酸素を計測した.その結果,誘電体バリア放電に投入する電力を変化させることで,OHラジカル及び原子状酸素の制御性を確認した.また,この大気圧プラズマを銅基板に照射した結果,OHラジカル及び原子状酸素の増加に伴い,基板表面の酸化物量が増大することが確認された.大気圧プラズマを照射した銅基板の発色について評価した結果,照射時間及び投入電力を増やすことで発色に要する時間が変化することも明らかとなった.一方,基板材料により不導体膜が形成され,発色しづらい材料があり,その加工方法について検討する必要があることが明らかとなった.
酸化膜厚と表面荒さの光の干渉のモデリングを実施するため,光学顕微鏡による目視観察およびレーザ顕微鏡による表面形状計測,分光器による発色スペクトル解析,粗面のモデル化と2次元電磁波シミュレーションを実施した.この結果,多層膜モデルのシミュレーションが完了し,発色要因に関する知見が得られた.
これらの結果より,誘電体バリア放電から発生した大気圧プラズマによって金属表面に発色効果の実現とその制御性を高めるための基盤が実施できた.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

本年度得られた知見により,(1)基板表面の酸化を促進しているのはOHラジカル及び原子状酸素であること,(2)基板表面に不導体膜が形成されることで酸化膜厚の制御性が低下すること,(3)基板表面の多層膜モデルのシミュレーションが完了し,発色要因に関する知見が得られたこと,が大きな成果である.そのため,誘電体バリア放電から発生した大気圧プラズマによって金属表面に発色効果を得るために,表面酸化膜の膜厚の違いによる屈折率の変化を明らかにすることが出来たため,当初の計画以上に進展していると考えている.

今後の研究の推進方策

次年度は,基板表面に不導体膜が形成されることで酸化膜厚の制御性が低下することに対する方策について検証を進め,様々な材料に対する誘電体バリア放電から発生した大気圧プラズマによって金属表面に発色効果を得る条件を明らかにする.また,発色の任意性を高めるため,基板表面の多層膜モデルのシミュレーションの高度化を実施し,応用に必要なデータ解析を進める.

次年度の研究費の使用計画

当初予定より外部資金を利用したことによって消耗品費にかかる費用が低下したため.
大気圧プラズマを発生させるための消耗品費に充てる予定である.

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2013 その他

すべて 学会発表 (4件) 備考 (1件)

  • [学会発表] 大気圧プラズマ照射による金属の発色作用と入力電力依存性2013

    • 著者名/発表者名
      野崎光, 高橋一匡, 佐々木徹, 菊池崇志, 阿蘇司, 原田信弘, 中村隆
    • 学会等名
      第30回プラズマ・核融合学会年会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      20131203-20131206
  • [学会発表] 大気圧プラズマを用いた金属発色加工における電極形状の検討2013

    • 著者名/発表者名
      野崎光、高橋一匡、佐々木徹、菊池崇志、阿蘇司、原田信弘、中村隆
    • 学会等名
      応用物理学会北陸・信越支部大会
    • 発表場所
      金沢工業大学扇が丘キャンパス
    • 年月日
      20131123-20131123
  • [学会発表] 誘電体バリア放電を用いて生成したプラズマによる金属発色加工2013

    • 著者名/発表者名
      野崎光,高橋一匡,佐々木徹,菊池崇志,阿蘇司,中村隆,原田信弘
    • 学会等名
      電気学会 平成25年基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      横浜国立大学
    • 年月日
      20130912-20130913
  • [学会発表] 大気圧プラズマ照射による金属表面の発色作用2013

    • 著者名/発表者名
      野崎光,佐々木徹,菊池崇志,阿蘇司,原田信弘
    • 学会等名
      電気学会 プラズマ・放電・パルスパワー研究会
    • 発表場所
      まちなかキャンパス長岡
    • 年月日
      20130516-20130517
  • [備考] 長岡技術科学大学プラズマ力学研究室

    • URL

      http://pdmhd.nagaokaut.ac.jp/pdmhd/HOME.html

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公開日: 2015-05-28  

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