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研究前半はナノ構造体の理論解析と作製プロセスの開発を行い，研究後半では目標センサをマイクロメートル寸法で試作し，特性評価しました。本研究で開発した微小構造体は，NEMS-Casimirセンサ以外にも様々な応用が期待できます。
研究成果は，査読付原著論文7件(2件掲載確定)，国際学会招待講演3件(1件発表確定)，査読付国際学会6件発表済，国際ワークショップ1件発表済，査読付国内シンポジウム4件発表済，国内学会14件発表済です。
その他の成果では，受賞4件，テレビ報道１件，新聞報道5件，ウェブ報道4件，海外大学講演1件，所属研究機関プレスリリース5件です
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