|
10億枚/秒(1Gfps)の撮影速度と1光子感度を持つ究極の高速撮像素子の開発を目標とした。以下の成果が得られた。(1)素子構造：センサとドライバーチップそれぞれの新構造を提案し、これらを接合した3D構造のセンサを設計した。(2)最高撮影速度（シミュレーションレベル）：6Gfps（時間分解能160ps）が可能であることを示した。(3)最高撮影速度（試作チップ）：ドライバーチップでは時間分解能1ns（1Gfps）を達成した。センサチップのプロセスにミスがあり、現在、再プロセス中である。1Gfpsは達成できると考えている。センサはCCD構造なので、冷却により数光子感度になる。
|
