2015 年度研究成果報告書

ナノスケール高感度電圧電流計測のための導電性プローブ顕微鏡システムの構築

研究課題

研究課題/領域番号	25630168
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	計測工学
研究機関	筑波大学
研究代表者	村上勝久筑波大学, 数理物質系, 助教 (20403123)
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード	導電性プローブ顕微鏡
研究成果の概要	導電性プローブ顕微鏡を用いたナノスケールでの電圧印可電流計測の高感度化を目的として同軸構造の導電性プローブの試作および静電シールドの設置による変位電流の抑制について研究を実施した。集束イオンビーム加工により先端の直径約10 um以外すべてをシールドした導電性プローブの試作に成功した。また、試料側への静電シールドの設置により、導電性プローブ顕微鏡システムの寄生容量を95 %削減し、電圧電流計測における感度を10倍以上高めることが可能となった。
自由記述の分野	プローブ顕微鏡