研究課題
(a)センサ素子の小型化 センサヘッドサイズが1㎜×1㎜以下のセンサ素子を開発した。ミアンダ型コプレーナ線路型センサ素子を開発し、地導体面のパターンを最適化すること等により、磁界に対するキャリアの位相変化感度は最高で約300 degree/0e 程度まで高感度化した。(b)回路の小型化 市販の位相差検出用ICであるAD8302と開発した薄膜磁界センサ素子と組み合わせてコンパクト化した。(c)センサのモジュール化 PLL回路によるセンサ素子の発信器をコンパクトにし、上記回路およびセンサ素子と同一基板上にモジュール化し、システムとしての磁界検出分解能を評価した。センサヘッドとの組み合わせで約100pT程度の磁界検出分解能を得た。(d)ワイヤレスマーカを作製し、無線で磁界の検出が可能であることを実験的に確認した。
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IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS
巻: VOL. 51, No. 11 ページ: 4005003