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(a)センサ素子の小型化 センサヘッドサイズが数mm角以下のセンサ素子を開発した。磁界に対するキャリアの位相変化感度は最高で約300 degree/0e 程度まで高感度化した。(b)回路の小型化 市販の位相差検出用ICであるAD8302と開発した薄膜磁界センサ素子と組み合わせてコンパクト化した。(c)センサのモジュール化 PLL回路によるセンサ素子の発信器をモジュール化し、システムとしての磁界検出分解能を評価した。センサヘッドとの組み合わせで約100pT程度の磁界検出分解能を得た。(d)ワイヤレスセンサを作製し、無線で磁界の検出が可能であることを実験的に確認した。
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