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2014 年度 研究成果報告書

極低温プラズマによる次世代材料の表面改質・加工プロセスのための現象論的取り組み

研究課題

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研究課題/領域番号 25630329
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 材料加工・組織制御工学
研究機関鳥取大学

研究代表者

川添 博光  鳥取大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (40260591)

連携研究者 山田 剛治  鳥取大学, 大学院工学研究科, 助教 (90588831)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
キーワード低温プラズマ / 表面波プラズマ / 低電離プラズマ / 電子密度 / 電子温度 / 表面改質
研究成果の概要

SWPの物理特性を解明するため、単純形状チャンバのSWP発生器を構築し、銅表面のぬれ特性を調査した。SWP特性を従来手法(ボルツマンプロット、PAP、ダブルプローブ)、新たにCR(衝突-輻射)モデルを構築して電子温度を探った。二波長マッハツェンダ法の可能性についても調査した。ぬれ特性はチャンバ内位置によって変化し、電子励起温度はArが約4000Kで、酸素より2000Kほど高い。電子密度は10の(11~12)乗個/ccで中央部が高い。CRモデルから電子温度は26700Kと推定され、これはダブルプローブによる28400Kに近い。二波長マッハツェンダ干渉法は干渉縞が観測されその可能性を確認した。

自由記述の分野

流体工学、航空宇宙工学

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公開日: 2016-09-02  

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