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１．高真空環境下でのマイクロプレス成形システムとCVDプロセスによる触媒形成システムの構築
(a)高真空環境下でのマイクロプレス成形システム設計と製造： 真空プロセスとの融合化をワンプロセスで実現するため、本研究ではマイクロプレス成形システムを真空チャンバー内に構成し、高真空環境下での被加工材の塑性加工を実現するため、既存の真空蒸着装置のチャンバーを改良し、プレス駆動力のモーター、プレスの変位計、荷重ロードセルを含めた測定系、被加工材の送り装置を装備した実験システムを構築した。
(b)同環境下における選択的CVDプロセスの構築： また、同じ真空環境下において、選択的CVDプロセスによる触媒形成を可能にするために、前駆体ガスの導入を行った。また、プレス成形時素材を局部加熱するための通電加熱システムを構築した。素材を通電加熱し、プレス成形を行うと同時にと素材表面での選択的CVDによる触媒成膜を可能にした。
２．マイクロプレス成形システムの構築と表面触媒形成プロセスとの融合
(a)にて設計・制作したマイクロプレス成形システムを用いて、本研究における融合化プロセスにおける基礎的検討として、マイクロハット曲げ試験、およびCVDプロセスの融合による選択的触媒ナノ粒子の形成を行った。その結果、素材の塑性変形に起因する表面酸化膜局部破断を利用した選択的触媒ナノ粒子の形成に成功した。今後、成膜した触媒ナノ粒子の物理的特性及び化学的特性を評価し、マイクロセンサーとしての可能性を探る予定である。
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