• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2015 年度 研究成果報告書

電子線・レーザー逐次照射法による微細加工用高分子の新規放射線増感反応の探索

研究課題

  • PDF
研究課題/領域番号 25630424
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 原子力学
研究機関北海道大学

研究代表者

藤吉 亮子  北海道大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (70229061)

研究分担者 岡本 一将  北海道大学, 大学院工学研究院, 助教 (10437353)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワードレジスト / パルスラジオリシス / レーザーフォトリシス / 放射線 / X線 / 粒子線 / 放射線化学 / フッ素化合物
研究成果の概要

レジスト材料の感度増加を目指すため、電子線とレーザーまたはXe光を同時または逐次的に照射する新規プロセスについて研究を行った。電子加速器からの電子線とNd:YAGレーザーを逐次的に照射する「パルスラジオリシス-レーザーフォトリシス法」による光吸収分光実験により、レジスト分子の電子線誘起中間体の光分解反応が起こることを明らかにした。さらに、電子線とXeランプの可視光域の同時照射を行い、レジスト感度が増加することを示し、本プロセスの有効性を明らかにした。

自由記述の分野

原子力学

URL: 

公開日: 2017-05-10  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi