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2014 年度 研究成果報告書

高スループット光プローブによる高速ナノ光計測

研究課題

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研究課題/領域番号 25706024
研究種目

若手研究(A)

配分区分一部基金
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関東海大学 (2014)
慶應義塾大学 (2013)

研究代表者

立崎 武弘  東海大学, 工学部, 講師 (20632590)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
キーワードナノ光計測
研究成果の概要

非破壊・非侵襲でのナノ分解能光計測を可能とするための原理検証と装置開発を実施した。
数値計算により、極小光スポットの励起原理とその特性を確認し、高効率の光励起と低雑音計測を可能とするプローブ構造を見出した。開発した計測装置は、空間分解能3.0ナノメートル、測定再現性1.0ナノメートルの測定性能を示すことを実験で確認した。本技術は年間の優れた技術100選に送られる2014 R&D100 Awardを受賞するに至った。また、高速計測装置の開発を行い、毎秒1.8フレームの計測が可能な性能を確認した。
査読付論文3篇と学会発表5件(招待講演1件)、受賞1件の成果。

自由記述の分野

光計測

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公開日: 2016-06-03  

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