| 研究課題/領域番号 |
25750120
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| 研究機関 | 筑波大学 |
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研究代表者 |
川村 大伸 筑波大学, システム情報系, 助教 (50548261)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2017-03-31
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| キーワード | 品質管理 / 統計的品質管理 / 統計的工程管理 / 多変量管理図 / 半導体製造 |
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| 研究実績の概要 |
半導体の製造工程のように，設備メンテナンス間で周期的な変動がある工程において，通常の周期的変動なのか異常な変動なのかを検出するための方法として，近年T2-Q管理図が海外・国内で研究されている．当該管理図の提案は近年になされたものではないが，実践面での課題に対する対策が産業界から強く求められている．
今年度は，ウエーハ上の各測定点において成膜された膜厚を管理特性とし，これらをまとめて管理するためにT2-Q管理図の検討を行った．そして，従来型管理図の主流であった“変動の大きさ”ではなく，“変動パターン”にモニタリングの観点を転換し， その“変動パターン”の管理手段としてT2-Q 管理図の活用を提案した．具体的には，ドライエッチ工程を対象とし，工程異常の検知・停止・再開までを理論および実データの解析にもとづいて議論し，T2-Q管理図を実践する上で問題となるT2管理図に含むべき主成分数の決定に関する手順，および異常診断に役立つ寄与プロットに関して新しい方法を提案した．提案した実践方法を様々な工程に適用し，多変量管理図と比較することで，提案した方法を用いたT2-Q管理図の有用性を明らかにした．最後に，“変動パターン”をモニタリングする意義について，スポット溶接や切削工程を事例として取り上げ，半導体製造工程にのみならず， 他産業でも重要であることを検討した．
なお，本研究成果は日本品質管理学会の論文誌である品質誌に掲載され，品質技術賞を受賞することができた．
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
多特性の管理方法について一定の研究成果を得ることができ，その成果を論文にまとめることができた．
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| 今後の研究の推進方策 |
多品種少量生産に対応できる新しい管理図の提案を行いたいと考えている．
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