半導体製造工程における統計的工程管理

2016 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 25750120
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 社会システム工学・安全システム
• 研究機関: 名古屋工業大学 (2015-2016); 筑波大学 (2013-2014)
• 研究代表者: 川村 大伸 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (50548261)
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2017-03-31
• キーワード: 統計的工程管理 / 実験計画法 / 品質管理 / 半導体製造

研究成果の概要

伝統的な統計的工程管理では，少品種大量生産が想定されているため，半導体製造工程のような多品種少量生産が主である工程に対しては，新たな管理方法が求められている．本研究の主な成果としては，ベイズ統計学を用いた管理図の開発，多変量管理図の有用性の検討，過飽和計画の性能評価結果を基にしたガイドラインの作成が挙げられる．

自由記述の分野

統計的品質管理