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軟Ｘ線発光分光法を用いて薄膜型CIS（Cu、In、Se）化合物系太陽電池における光吸収層の非破壊的電子状態分析技術を確立することを目的に、1～3.5 keV領域にあるCu、In、Se等のL発光スペクトルを同時計測するための広帯域Ni/C多層膜回折格子分光器を開発した。具体的には、イオンビームスパッタ法で非周期構造のNi/C多層膜を積層した回折格子及びトロイダル前置鏡を製作し、放射光を用いてそれらの光学特性を評価した。その結果、本研究で考案した非周期Ni/C多層膜は回折格子の回折効率及び反射鏡の反射率の広帯域化に有効であることを実験的にも確認することができた。
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