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2015 年度 実績報告書

極端紫外(EUV)光アブレーション粒子計測によるEUVプラズマ特性の解明

研究課題

研究課題/領域番号 25800303
研究機関大阪大学

研究代表者

田中 のぞみ  大阪大学, レーザーエネルギー学研究センタ, 研究員 (60581296)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード極端紫外光 / 物質アブレーション / プラズマ膨張 / 光電離 / 物質加熱
研究実績の概要

電磁場を用いた質量価数分析器であるトムソンパラボラによりEUVアブレーションで生成されたSiプラズマからのイオン分析を行った。また、同照射条件で1064 nmのNd:YAGレーザーアブレーションに対する質量価数分析を行った。
実験に先立ち、今年度は計測器アライメント方法、分解能の向上等の改良を行い、前年度と比較して飛躍的に鮮明なトムソンパラボラスペクトルを得た。EUVアブレーションの場合はSiの1価イオンのみが検出されたが、レーザーアブレーションにおいては3価までの多価イオンが検出された。これら実験結果に対し、放射流体コードSTAR 1Dによるプラズマパラメータの計算を行った。実験及びシミュレーション結果は特に平均価数で良い一致を示した。得られた結果を元に、物質アブレーションの一連のプロセスに、光源により顕著な差異が現れるメカニズムを以下のように結論付けた。
ナノ秒パルスレーザーによる物質アブレーションの場合、レーザーがプラズマ中において臨界密度付近で最も良く吸収されるため、10E21 cm^-3程度の低密度領域領域を主に加熱することとなる。さらに吸収過程が逆制動放射であるため、電子の加熱が進みやすく、それに伴い1価から3価まで電離が進んだと考えられる。一方EUV光の場合、臨界密度が固体密度を超えるため、プラズマ中では吸収されずに材料表面に到達する。また光子エネルギーが100 eV付近と高いため、光電離が主な吸収過程となる。このような場合、原子一つあたりに付与される光エネルギーは低くなり、電子の加熱が進まない。そのため電子衝突による電離が進まなかった。
前年度までのイオン膨張形状の差異の結果と合わせ、本研究では期間中に、膨張イオンの計測、シミュレーション、理論モデルにより、EUV光とレーザーによる加熱機構の違いに起因するプラズマ生成と膨張イオンの特性の違い明らかにした。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2016 2015

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 1件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (3件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Spectroscopic measurements of ablation plasma generated with laser-driven intense extreme ultraviolet (EUV) light2016

    • 著者名/発表者名
      N. Tanaka, K. Hane, H. Shikata, M. Masuda, K. Nagatomi, A. Sunahara, M. Yoshida, S. Fujioka, and H. Nishimura
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: 688 ページ: 012122

    • DOI

      10.1088/1742-6596/688/1/012122

    • 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Characterization of material ablation driven by laser generated intense extreme ultraviolet light2015

    • 著者名/発表者名
      Nozomi Tanaka, Masaya Masuda, Ryo Deguchi, Masakatsu Murakami, Atsushi Sunahara, Shinsuke Fujioka, Akifumi Yogo, and Hiroaki Nishimura
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 107 ページ: 114101

    • DOI

      10.1063/1.4930958

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Characterization of ion plumes generated by laser-driven intense extreme ultraviolet (EUV) light2016

    • 著者名/発表者名
      R. Deguchi, N. Tanaka, N. Wada, A. Sunahara, M. Murakami, A. Yogo, and H. Nishimura
    • 学会等名
      The 15th International Conference on X-Ray Lasers
    • 発表場所
      奈良県奈良市
    • 年月日
      2016-05-24 – 2016-05-24
    • 国際学会
  • [学会発表] レーザー駆動EUV光による物質アブレーションにおけるイオンエネルギーと価数診断2016

    • 著者名/発表者名
      出口亮,田中のぞみ,増田将也,砂原淳, 余語覚文,西村博明
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス(東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-20 – 2016-03-20
  • [学会発表] PLASMA EXPANSION FROM MATERIAL ABLATION BY INTENSE LASER DRIVEN EXTREME ULTRAVIOLET (EUV) LIGHT2015

    • 著者名/発表者名
      N. Tanaka, R. Deguchi, A. Sunahara, M. Murakami, A. Yogo, H. Nishimura
    • 学会等名
      The Ninth International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications
    • 発表場所
      Bellevue, Washington, USA
    • 年月日
      2015-09-21 – 2015-09-21
    • 国際学会

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公開日: 2017-01-06  

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