極端紫外(EUV)光アブレーション粒子計測によるEUVプラズマ特性の解明

2015 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 25800303
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: プラズマ科学
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 田中 のぞみ 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センタ, 特任研究員(常勤) (60581296)
• 研究協力者: 西村 博明 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 教授 (60135754) ; 村上 匡且 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 教授 (80192772) ; 砂原 淳 公益財団法人レーザー技術総合研究所 (00370213) ; 増田 将也 大阪大学, 工学研究科・レーザーエネルギー学研究センター, 修士課程学生 ; 永富 健介 近畿大学, 理工学部, 学部学生 ; 出口 亮 大阪大学, 工学研究科・レーザーエネルギー学研究センター, 修士課程学生 ; 和田 直 大阪大学, 工学研究科・レーザーエネルギー学研究センター, 修士課程学生
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2016-03-31
• キーワード: 極端紫外(EUV)光 / 物質アブレーション / プラズマ膨張 / 粒子計測 / 物質加熱

研究成果の概要

波長数-数10 nmの領域にある極端紫外(EUV)光の応用研究が注目されてきている。EUV光は原理的に従来の長波長レーザーとは一線を画す特徴的な物質との相互作用を起こす。特にEUV光による物質アブレーションは材料加工など様々な分野での応用が期待できるが、その物理的な機構や従来のレーザーアブレーションとの差異はほとんど明らかにされていなかった。
本研究では、アブレーションの最終過程である膨張粒子の実験的計測とプラズマパラメータのモデル計算を用いて、原理的に予測されうる高密度低温度のプラズマの生成、低い電離度、直線的なプラズマ膨張など、レーザーとは明確に異なるアブレーションメカニズムを明らかにした。

自由記述の分野

プラズマ理工学