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2014 年度 研究成果報告書

デュアルプラズマを使った高耐熱性金属/DLC複合膜の創製とそのメカニズムの解明

研究課題

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研究課題/領域番号 25820014
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関金沢工業大学

研究代表者

池永 訓昭  金沢工業大学, 工学部, 講師 (30512371)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
キーワード高耐熱性 / DLC膜 / 摩擦係数 / 膜硬度 / Si添加率
研究成果の概要

DLC膜の耐熱性(酸化開始温度)は約400℃といわれており,他の硬質膜に比べて耐熱性が低いことが指摘されていた.そのためDLC膜は優れた機械的特性を有しているのもかかわらずその応用範囲に制限があった.一方,著者はDLC膜にSiを添加することで耐熱性が改善できることを見出してきた.これらの背景をもとに,本研究では650℃以上の高温環境下でも従来の機械的特性を損なうことなく使用できるSi添加したDLC膜の開発を行なった.その結果,微量のSiの添加によって約800℃の耐熱性を実現できること,耐熱性を付与できるSi添加率は10~12.5at.%の範囲のみであることを明らかにした.

自由記述の分野

プラズマ工学

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公開日: 2016-06-03  

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