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マイクロメートル・サブマイクロメートルオーダの微細形状を創成するために超音波振動援用加工を適用した。開発した超音波振動援用装置では工具の軸方向とたわみ方向に援用でき、工具の回転運動と工作物送りを重畳することにより運動軌跡を工作物に転写して微細構造を創成する。軸方向振動を援用した場合、回転運動と振動により正弦波状の切削軌跡をとるために、切れ刃に対して2枚のすくい面を持つ形状がバリを抑制して良好な構造体を創成することに有効であることを明らかとした。またたわみ振動による切削では切れ刃の干渉により構造体は破壊される場合があり、また微細構造創成の機構がインデンテーション作用であることを明らかとした。
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