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広いダイナミックレンジが必要な非球面や自由曲面等の複雑曲面形状を数nm程度の高い分解能で測定可能な位相計測ディフレクトメトリ法を用いた形状測定装置の開発を行った。位相計測ディフレクトメトリと干渉計測は相補的な関係にあり、両者を融合することで高い信頼性を有する形状計測手法が構築可能である。
離散的な縞に基づく位相計測ディフレクトメトリでの位相検出制度について検討を行い、離散的な画素構造と輝度階調を有することによる位相計測誤差は1/1000波長程度であった。これは測定対象面により偏向された視線が見通す先の位置を液晶モニタの画素間隔の1/1000程度の分解能で決定可能であることを示している。
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