研究課題
若手研究(B)
次世代ユビキタス情報端末となるフレキシブルデバイスの実現には、高性能プリンテッド薄膜トランジスタが必要である。塗布型InZnOを利用した薄膜トランジスタの高性能化のため、OHラジカル処理など、様々な化学反応による材料改善を試み、高歩留り・高性能を両立する湿潤酸素処理技術の開発に成功した。また、塗布型電極の界面層形成を検討し、スパッタによるAg電極より塗布型Ag電極がInZnOトランジスタに適していることを見出した。
半導体工学
