2015 年度研究成果報告書

生体用内視鏡のための低電圧静電駆動型マイクロ三次元光スキャナ

研究課題

研究課題/領域番号	25820132
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	電子デバイス・電子機器
研究機関	東北大学
研究代表者	佐々木敬東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (60633394)
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード	MEMS / 焦点可変ミラー / スキャナ
研究成果の概要	生体用内視鏡のための低電圧静電駆動型のマイクロ三次元スキャナのためのプロセス開発、焦点可変ミラーの低電圧化技術の開発、画像構築システムの開発を行った。共振駆動型の焦点可変ミラーを研究し、従来駆動方式の約150倍の振動振幅が得られるデバイスを開発した。また、SOIウエハの接合技術を用いた設計自由度の高いレーザー光軸方向走査および横方向走査が可能な静電駆動型光スキャナの製作に成功し、デバイスの駆動を確認した。高精度な生体計測用デバイス実現へ向けた基礎技術開発に成功した。
自由記述の分野	MEMS