研究課題
若手研究(B)
数ng以下の付着物質の質量を検出できるQCM(水晶振動子微量秤)の性能向上のため,周波数オフセット位相同期型QCMを提案した.回路側の電気的特性,水晶振動子の電気・機械的特性,QCMに塗布した感応膜の化学的特性についてそれぞれ検証し,エタノールガスセンサとして空気に対する濃度10ppm~270ppmについて試験を行った結果,ガス濃度に応じた出力が得られることを明らかにした.
高安定発振器の開発とその性能評価