2014 年度研究成果報告書

プラズマ化学気相蒸着法によるダイヤモンドライクカーボン分子ふるい膜の創成

研究課題

研究課題/領域番号	25820382
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	化工物性・移動操作・単位操作
研究機関	広島大学
研究代表者	長澤寛規広島大学, 工学(系)研究科(研究院), 特任助教 (30633937)
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2015-03-31
キーワード	プラズマ化学気相蒸着法 / ダイヤモンドライクカーボン / 分子ふるい膜
研究成果の概要	本研究はダイヤモンドライクカーボン（DLC）薄膜を分離活性層とする新規な分子ふるい膜の創出を目指すものである．ナノ細孔を有するチタニア及びシリカジルコニア多孔質支持体上にプラズマ化学気相蒸着法（PECVD）でDLCの蒸着を行い，その気体透過性の評価を行った．得られた膜は，He/N2，He/CF4およびHe/SF6選択性がそれぞれ28.8，619，1030倍を示す分子ふるい的な特性を示した．本研究は，PECVDによるDLCふるい膜の可能性を初めて明らかにしたものである．
自由記述の分野	膜工学