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2014 年度 研究成果報告書

次世代通信技術構築のための超低損失弾性波デバイスの開発

研究課題

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研究課題/領域番号 25870042
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 ナノマイクロシステム
電子デバイス・電子機器
研究機関東北大学

研究代表者

原 基揚  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (00417966)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
キーワード圧電薄膜共振子 / 電極 / 薄膜
研究成果の概要

圧電薄膜共振子(FBAR)は基板上に作製可能な薄膜の体積弾性波(BAW)素子であり、水晶振動子のようなバルクのBAW素子と異なり、電極の膜厚や材質によって共振特性を制御することができる。従来のFBARの開発では、広帯域フィルタへの応用を想定し、結合係数を最大化する設計が行われるが、本研究では、低位相雑音なクロック素子の開発を想定し、Q値に特化した最適化を世界に先駆けて検討した。
Q値の最大化にあたり、分布定数回路を用いた共振特性計算プログラムを独自に開発し、これにより、有限要素法と比し、幾何変数の連続的な取り扱いと、高速な計算処理および網羅的な材料の探索が可能となった。

自由記述の分野

マイクロデバイス

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公開日: 2016-06-03  

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