|
本研究では，数10nmの高い水平分解能を有する光形状計測の実現を目的として，レーザの多方向からの集中照射による光形状計測システムを開発した．光学シミュレーションを行った結果，従来の光プローブと比較して，試料の形状に近い傾斜を持つ斜面が測定できており，従来の光プローブと比べて高い水平分解能を持つことを示した．また，原理確認実験の結果から，シミュレーションから決定したデータの処理方法により，形状の計測が可能であることを示した．以上の研究結果より，提案するレーザの多方向からの集中照射光プローブが水平分解能を向上させる方法として有効であることを示した．
|
