|
本研究では、測定面から離れた領域の電流分布を高分解能で可視化可能なサブサーフェス磁気イメージングシステムの試験装置を開発した。本装置のハードウェアは、磁気センサとしてトンネル磁気抵抗効果素子、ナノスケールの位置決め精度を有するセンサ走査機構を備える。また、磁気センサの最小寸法で決まる空間分解能を実現する積分幾何学的電磁場再構成理論に基づく映像化ソフトウェアにより、測定データから高分解能画像が1秒以内で生成される。この試験装置を、金属接合界面、LEDチップ、蓄電池等に適用し、電流密度分布を映像化することに成功した。
|
