2015 年度研究成果報告書

レーザー生成プラズマ極端紫外光源を用いた物質表面の極微細分析技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号	25870565
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	電子デバイス・電子機器光工学・光量子科学
研究機関	宮崎大学
研究代表者	加来昌典宮崎大学, 工学部, 助教 (10425621)
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード	光プロセッシング / 微細プロセス / 光脱離 / 表面分析
研究成果の概要	レーザー生成アルゴンプラズマからの広帯域な真空紫外発光を利用した光脱離質量分析装置の開発を行った．分子構造が似ているポリエチレンとポリ塩化ビニル表面に波長選択した光を照射し光脱離の照射波長依存性を測定した．両サンプル共に200 nm以下の真空紫外光を照射すると，それぞれ異なる特徴的な質量スペクトルが検出された．実験結果より，光脱離は分子内の結合エネルギーや分子構造に依存していると考えられ，構成元素や組成等の僅かな差異によって検出されるスペクトルの波長依存性が異なることがわかった．
自由記述の分野	レーザー工学