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2016 年度 実績報告書

半導体モノリシック光波合成・任意ユニタリ変換光集積回路の創出

研究課題

研究課題/領域番号 26000010
研究機関東京大学

研究代表者

中野 義昭  東京大学, 大学院工学系研究科, 教授 (50183885)

研究分担者 種村 拓夫  東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授 (90447425)
杉山 正和  東京大学, 大学院工学系研究科, 教授 (90323534)
小関 泰之  東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授 (60437374)
肥後 昭男  東北大学, 原子分子材料科学高等研究機構, 助教 (60451895)
研究期間 (年度) 2014 – 2018
キーワード集積フォトニクス / 光集積回路 / 半導体 / アダプティブ / モノリシック / 光波合成 / ユニタリ変換 / 偏波制御
研究実績の概要

(1) 量子井戸型偏波制御器の設計と試作
光波合成回路上での偏波状態制御を実現するハーフリッジ型偏波制御器の効率改善に向けて, 量子井戸型変調部と偏波変換部をバットジョイント再成長法によりモノリシックに集積することに成功した. その結果, 量子井戸層に電流注入を行うことで高効率かつ高速な偏波制御が実現できることを実証した.
(2) 偏波解析素子の設計と試作
前年度に提案した偏波アナライザ集積素子の応用可能性を検証するために, 高速ストークスベクトル変調信号の復調実験を行った. 並行して, 量子井戸型受光素子を搭載した完全にモノリシックな集積回路を完成させた. 現在試作した素子の評価を進めているところである.
(3) 光波合成チップの設計と試作
前年度までに開発した光波合成回路のロバスト動作を実現する上で, ランダム信号を用いて. 駆動する新規手法を提案し, 数値解析および原理検証実験により有効性を明らかにした. 同時に, 出力光の高出力化に向けて, 光増幅器をモノリシックに集積した素子の設計と試作を行った. 並行して, 超高密度回路の実現に向けて金属を用いた微小プラズモニック光源を開発し, 発振動作を実証した.
(4) ユニタリ変換チップの設計
前年度に設計した4×4ユニタリ変換チップを試作し, 素子を完成させた. 現在試作した素子の評価を進めている. また, 作製誤差に対して耐性のある新規構造を新たに考案し, 数値解析によりその有効性を明らかにした. 同時に, 10×10ユニタリ変換チップの設計を行い, 試作を開始している.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

平成28年度中に目標としていた偏波制御器と偏波解析器の試作実証, および, アクティブ素子とのモノリシック集積については, 概ね予定通り成果が得られている. また, ユニタリ変換素子についても, 前年度に考案した干渉計型カプラを用いた構成の有用性を数値解析により実証し, 4×4素子の試作に成功している. 10×10素子の設計も終えており, 今後順調に開発が進むと見込んでいる. 一方, 光波合成素子に関しては, 当初予定していた駆動方法では, 大規模化に伴い素子の作製誤差や使用環境による影響が大きくなることが分かり, 見直しを行った. その結果, ランダム信号を用いて駆動するという新しい手法を編み出し, 有効性を実証することに成功している. 本方式を用いることで, 素子の構造が大幅に簡略化できることが明らかになっており, 今後試作が順調に進む予定である.
以上の結果として, 平成29年度以降, 各種大規模光回路の試作から評価までのプロセスを円滑に進められる環境が整っている.

今後の研究の推進方策

平成28年度に, 偏波解析素子の実証に成功した一方で, 回路内の偏波依存損失の影響が生じてしまうことが明らかになった. 4本の出力ポートに搭載する偏波変換部の設計を見直すことで, 受信感度を最大化しながら, 偏波依存損失の影響を補償できると期待している. 偏波制御素子に関しては, 過剰損失の低減に向けて, オフセット量子井戸構造による素子を新たに設計し, 試作を行う. さらに, これまでに実証した偏波制御素子と能動素子のモノリシック集積を目指す.
光波合成回路に関しては, これまで45°ミラーを集積することで二次元アレイ化を目指していたが, このアプローチでは, アレイ規模と分解能に対して限界が生じることが判明した. そのため, 今後は, 回折格子結合器を集積する方式にも併せて取り組み, 性能を比較することで, 最適な手法を見極める. 同時に, 高出力化に向けて, 前年度から開始した光増幅器集積型素子の最適化を進め, 試作を行う. さらに, 前年度に開発したランダム駆動方式の検証を進め, 素子構造の簡略化を図ることで大規模を目指す. その上で, 光イメージングやLIDARなど, 実用システムへの応用可能性を検証する.
ユニタリ変換素子に関しては, 前年度に作製した4×4回路の評価を行い, 初めて実験的に実証することを目指す. また, 平成28年度に購入した多モード励振用フォトニックランタンを用いたシステム実験を行うことで, 空間モード多重光通信システムへの応用可能性を検証する. 並行して, 10×10回路の素子の試作を開始し, 今年度中に完成させることを目指す.
以上により, 光波合成回路およびユニタリ変換回路の試作と評価を効率良く行う予定である.

  • 研究成果

    (31件)

すべて 2017 2016 その他

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (22件) (うち国際学会 13件、 招待講演 4件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Measurement of 3-dimensional dopant distribution in InGaAs microdiscs grown selectively on Si (III)2017

    • 著者名/発表者名
      Tohma Watanabe
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 464 ページ: 33-38

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2016.12.003

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Integrated reconfigurable unitary optical mode converter using MMI couplers2017

    • 著者名/発表者名
      Rui Tang
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters

      巻: 29 ページ: 971-974

    • DOI

      10.1109/LPT.2017.2700619

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Optimization of modulation-canceling reflective semiconductor optical amplifier for colorless WDM transmitter applications2017

    • 著者名/発表者名
      Wenhui Zhan, Peng Zhou, Yuxiao Zeng, Masaru Mukaikubo, Takuo Tanemura, and Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      IEEE/OSA Journal of Lightwave Technology

      巻: 35 ページ: 274-279

    • DOI

      10.1109/JLT.2016.2633719

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Q factor improvement by capsule-shaped metallic cavity structure for subwavelength lasers2016

    • 著者名/発表者名
      Baifu Zhang, Koh Chieda, Takuya Okimoto, Takuo Tanemura, and Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi A

      巻: 213 ページ: 965-969

    • DOI

      10.1002/pssa.201532561

    • 査読あり
  • [雑誌論文] (招待論文) Capsule-shaped metallic-cavity semiconductor lasers for low-energy on-chip light sources2016

    • 著者名/発表者名
      Takuo Tanemura, Baifu Zhang, and Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE

      巻: 9,892 ページ: 989214-1-4

    • DOI

      10.1117/12.2230652

    • 査読あり
  • [雑誌論文] (招待論文)InPモノリシック集積偏波制御回路2016

    • 著者名/発表者名
      種村拓夫, 中野義昭
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C

      巻: J99-C ページ: 373-381

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surface-normal electro-optic-polymer modulator with silicon subwavelength grating2016

    • 著者名/発表者名
      Yuji Kosugi, Toshiki Yamada, Akira Otomo, Yoshiaki Nakano, and Takuo Tanemura
    • 雑誌名

      IEICE Electronics Express

      巻: 13 ページ: 1-9

    • DOI

      10.1587/elex.13.20160595

    • 査読あり
  • [学会発表] Simple direct-detection-based Stokes vector receiver circuit on InP2017

    • 著者名/発表者名
      Samir Ghosh
    • 学会等名
      Conference on Optical Fiber Communication (OFC 2017)
    • 発表場所
      Los Angeles Convention Center (Los Angeles, California, USA)
    • 年月日
      2017-03-23
    • 国際学会
  • [学会発表] Ghost imaging using integrated optical phased array2017

    • 著者名/発表者名
      Kento Komatsu
    • 学会等名
      Conference on Optical Fiber Communication (OFC 2017)
    • 発表場所
      Los Angeles Convention Center (Los Angeles, California, USA)
    • 年月日
      2017-03-23
    • 国際学会
  • [学会発表] ナノ構造の加工技術とフォトニクス応用2017

    • 著者名/発表者名
      肥後昭男
    • 学会等名
      平成29年電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大学(富山県富山市)
    • 年月日
      2017-03-17
    • 招待講演
  • [学会発表] Fabrication and room temperature pulsed oscillation of capsule-shaped wavelength-scale metallic cavity laser2017

    • 著者名/発表者名
      Yi Xiao
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-16
  • [学会発表] Fabrication of GaAs quantum nanodisk and its optical response by bio-template, neutral beam etching and asymmetric AlGaAs barrier regrowth2017

    • 著者名/発表者名
      Akio Higo
    • 学会等名
      SPIE Conference 10116, MOEMS and Miniaturized Systems XVI (Part of SPIE Photonics West/OPTO)
    • 発表場所
      Moscone Center (San Francisco, California, USA)
    • 年月日
      2017-02-01
    • 国際学会
  • [学会発表] Study on reflective semiconductor optical amplifier with segmented electrodes for self-seeded colorless WDM transmitter2016

    • 著者名/発表者名
      Peng Zhou
    • 学会等名
      電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      宮崎市民プラザ(宮崎県宮崎市)
    • 年月日
      2016-10-28
    • 招待講演
  • [学会発表] 多モード干渉結合器を用いた光MIMO処理回路2016

    • 著者名/発表者名
      唐睿
    • 学会等名
      電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道札幌市)
    • 年月日
      2016-09-23
  • [学会発表] Two-section RSOA with enhanced modulation-cancelling effect for self-seeded colorless WDM transmitter2016

    • 著者名/発表者名
      Peng Zhou
    • 学会等名
      42nd European Conference on Optical Communication (ECOC 2016)
    • 発表場所
      Düsseldorf Congress Sport & Event GmbH (Düsseldorf, Germany)
    • 年月日
      2016-09-19
    • 国際学会
  • [学会発表] Si(111)上InGaAs microdiscへのGa取り込みメカニズムの検討2016

    • 著者名/発表者名
      渡邉冬馬
    • 学会等名
      第77回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-16
  • [学会発表] InP光集積フェーズドアレイの試作と評価2016

    • 著者名/発表者名
      小松憲人
    • 学会等名
      第77回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-16
  • [学会発表] 導波路と結合した金属クラッド共振器におけるQ値向上に向けた検討2016

    • 著者名/発表者名
      西本昌哉
    • 学会等名
      第77回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-15
  • [学会発表] Sub-wavelength metallic laser coupled to silicon-on-insulator waveguide with integrated optical feedback stub for Q factor enhancement2016

    • 著者名/発表者名
      Kaiyin Feng
    • 学会等名
      25th IEEE International Semiconductor Laser Conference (ISLC 2016)
    • 発表場所
      神戸メリケンパークホテル(兵庫県神戸市)
    • 年月日
      2016-09-14
    • 国際学会
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工によるGaAs量子ナノディスクLEDのエレクトロルミネッセンス特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      肥後昭男
    • 学会等名
      第77回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-14
  • [学会発表] Polarization control on InP photonic integrated circuits for new modulation formats2016

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Nakano
    • 学会等名
      2016 International Nano-Optoelectronics Workshop (iNOW 2016)
    • 発表場所
      Residence Palace (Würzburg, Bavaria, Germany)
    • 年月日
      2016-08-02
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Surface-normal optical modulator using silicon high-contrast grating with electro-optic polymer2016

    • 著者名/発表者名
      Yuji Kosugi
    • 学会等名
      2016 International Nano-Optoelectronics Workshop (iNOW 2016)
    • 発表場所
      Tech. Univ. Munich (Garching, Bavaria, Germany)
    • 年月日
      2016-07-28
    • 国際学会
  • [学会発表] Comprehensive analysis on wavelength-scale metal-clad laser coupled to silicon-on-insulator waveguide with integrated optical feedback stub2016

    • 著者名/発表者名
      Kaiyin Feng
    • 学会等名
      2016 International Nano-Optoelectronics Workshop (iNOW 2016)
    • 発表場所
      Tech. Univ. Munich (Garching, Bavaria, Germany)
    • 年月日
      2016-07-28
    • 国際学会
  • [学会発表] Polarization manipulation in monolithic InP-based PICs2016

    • 著者名/発表者名
      Takuo Tanemura
    • 学会等名
      OSA Topical Meeting on Integrated Photonics Research, Silicon, and Nano-Photonics (IPR 2016)
    • 発表場所
      Fairmont Hotel Vancouver (Vancouver, British Columbia, Canada)
    • 年月日
      2016-07-19
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Measurement of 3-dimensional dopant distribution in InGaAs microdiscs grown selectively on Si (Ⅲ)2016

    • 著者名/発表者名
      Tohma Watanabe
    • 学会等名
      The 18th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy (IC-MOVPE XVIII)
    • 発表場所
      Sheraton San Diego Hotel & Marina (San Diego, California, USA)
    • 年月日
      2016-07-12
    • 国際学会
  • [学会発表] Integrated Stokes vector analyzer on InP2016

    • 著者名/発表者名
      Samir Ghosh
    • 学会等名
      21st Optoelectronics and Communications Conference/2016 International Conference on Photonics in Switching (OECC/PS 2016)
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-07-06
    • 国際学会
  • [学会発表] Anomalous Ga incorporation into InGaAs microdiscs selectively grown on Si (Ⅲ)2016

    • 著者名/発表者名
      Tohma Watanabe
    • 学会等名
      Compoud Semiconductor Week 2016 (CSW 2016, 28th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials, IPRM, 43rd International Symposium on Compound Semiconductors, ISCS)
    • 発表場所
      富山国際会議場(富山県富山市大手町)
    • 年月日
      2016-06-28
    • 国際学会
  • [学会発表] Comprehensive analysis on electrically pumped metallic cavity lasers2016

    • 著者名/発表者名
      Chuanqing Yu
    • 学会等名
      Compoud Semiconductor Week 2016 (CSW 2016, 28th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials, IPRM, 43rd International Symposium on Compound Semiconductors, ISCS)
    • 発表場所
      富山国際会議場(富山県富山市大手町)
    • 年月日
      2016-06-27
    • 国際学会
  • [学会発表] 電気光学ポリマーを用いた垂直入射型光変調器の提案と設計2016

    • 著者名/発表者名
      小杉優地
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス(OPE)研究専門委員会 2016年4月期研究会
    • 発表場所
      リゾーピア熱海(静岡県熱海市)
    • 年月日
      2016-04-21
  • [備考] 東京大学大学院工学系研究科中野・種村研究室ホームページ

    • URL

      http://www.ee.t.u-tokyo.ac.jp/~nakano/lab/

  • [産業財産権] イメージング装置及び方法2016

    • 発明者名
      種村拓夫, 小松憲人, 中野義昭, 小関泰之
    • 権利者名
      東京大学
    • 産業財産権種類
      特許, 特願
    • 産業財産権番号
      特願2016-257455号
    • 出願年月日
      2016-12-29

URL: 

公開日: 2018-01-18  

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