| 研究課題/領域番号 |
26249006
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
高増 潔 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70154896)
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| 研究分担者 |
高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2019-03-31
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| キーワード | 不確かさ推定 / 三次元形状測定 / 光計測 / ナノメートル計測 / 座標計測 |
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| 研究実績の概要 |
以下の2つの研究テーマに関して，研究を実施した．
1．不確かさ推定理論の体系化とシミュレーションソフトウェアの提供
三次元計測における不確かさ推定理論の体系化を行った．標準を利用した測定機の校正作業により，測定機の運動学パラメータの不確かさが推定される．この理論体系を実際の三次元計測に適用した．構築した体系に対応するシミュレーションソフトウェアを構築した．特定の測定機器（CMMおよびSEM）に対応した，不確かさシミュレーションソフトウェアの開発指針を明らかにし，不確かさを推定するだけでなく，不確かさを小さくするための方法をソフトウェア上でテストできるプラットホームの基礎部分を作成した．
2．光学的三次元形状測定の応用実験
新しい光学的手法を利用したナノ三次元測定に関して，角度測定による三次元測定システムを適用対象として，より高精度な測定と，その不確かさの評価手法の実用化を目指した．回転するステージとオートコリメータを組み合わせることで，高精度化とステージの誤差の分離，オートコリメータの自律校正を可能にするシステムが構築できた．このシステムを三次元計測の実施例として開発し，理論的な不確かさ推定と合わせてシステム全体の不確かさ評価を理論的および実験的に行った．
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
1: 当初の計画以上に進展している
理由
まず，不確かさ推定理論の体系化とシミュレーションソフトウェアの提供に関しては，三次元計測における不確かさ推定理論の体系化を行い，標準を利用した測定機の校正作業により，測定機の運動学パラメータの不確かさが推定のためのソフトウェアの開発が実現できた．特に，構築した体系に対応するシミュレーションソフトウェアを構築し，特定の測定機器（CMMおよびSEM）に対応した，不確かさシミュレーションソフトウェアの開発指針を明らかにできた．
つぎに，光学的三次元形状測定の応用実験に関しては，新しい光学的手法を利用したナノ三次元測定に関して，角度測定による三次元測定システムを適用対象として，より高精度な測定と，その不確かさの評価手法の実用化の基本部分が実現できた．
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| 今後の研究の推進方策 |
2つの大きなテーマについて，以下の方針で研究を推進する．
まず，不確かさ推定理論の体系化とシミュレーションソフトウェアの提供では，理論体系を実際の三次元計測に適用した結果を解析し，構築した体系に対応するシミュレーションソフトウェアを利用者が自由に使えるシステムを構築する．特定の測定機器の範囲を拡大し，前年度に確立した不確かさシミュレーションソフトウェアの開発指針をもとに，不確かさを推定するだけでなく，不確かさを小さくするための方法をソフトウェア上でテストできるプラットホームの基礎部分の作成を推進する．
次に，光学的三次元形状測定の応用実験では，前年度に開発した角度測定による三次元測定システムに対して，引き続きより高精度な測定と，その不確かさの評価手法の実用化を進める．さらに，新しい光学的三次元形状測定手法の開発と，精度評価および校正方法の検討を行い，システム全体の不確かさ評価を理論的および実験的に行う．
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| 備考 |
東京大学 高増・高橋研究室
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