| 研究課題/領域番号 |
26249006
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(A)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
生産工学・加工学
|
|---|
| 研究機関 | 東京大学 |
|---|
研究代表者 |
高増 潔 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (70154896)
|
|---|
| 研究分担者 |
高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2019-03-31
|
| キーワード | 座標計測 / ナノメートル計測 / 光計測 / 三次元形状測定 / 不確かさ推定 |
|---|
| 研究成果の概要 |
次世代ものづくりにおいて，製作する部品の形状精度を向上するためには，ナノスケールでの三次元形状測定が不可欠となる．
本研究では，誤差分離や自己校正を利用した不確かさ推定理論の体系化を行った．これを三次元測定機および半導体計測装置の不確かさ解析へ適用し，実験的な実証により有効性を確認した．さらに，光学的三次元測定システムに不確かさ推定手法を適用し，自己校正によりサブナノメートルの不確かさで形状測定が可能なことを実験的に実証した．
以上のように，精密計測における次世代三次元形状の高精度化のために，不確かさ推定手法を実用化できた．
|
| 自由記述の分野 |
精密測定，三次元計測，ナノメートル計測
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
ナノスケールの精度を持つ三次元形状計測における測定の不確かさの評価は，次世代のものづくりの高度化に不可欠である．学術的には，本研究で開発した形状測定装置，自己校正手法，不確かさ推定手法は，他の測定システムへの適用が可能で波及効果が大きい．社会的には，日本のものづくりの優位性を活かしながら製作する部品の形状精度をナノスケール化することで，機械部品，半導体，光素子に高付加価値な機能を付与するナノスケールものづくりへの展開が可能となった．
|
