• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2017 年度 研究成果報告書

超微細機械加工と自己組織化を併用したナノ加工技術の確立と光学機能創出への適用

研究課題

  • PDF
研究課題/領域番号 26249007
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京工業大学

研究代表者

吉野 雅彦  東京工業大学, 工学院, 教授 (40201032)

研究分担者 松村 隆  東京電機大学, 工学部, 教授 (20199855)
長尾 忠昭  国立研究開発法人物質・材料研究機構, その他部局等, その他研究員 (40267456)
山中 晃徳  東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (50542198)
梅原 徳次  名古屋大学, 工学研究科, 教授 (70203586)
連携研究者 山本 貴富喜  東京工業大学, 工学院, 准教授 (20322688)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2018-03-31
キーワード超微細塑性加工 / 自己組織化 / 微細金属素子 / 光学機能材料 / 製造プロセス / 微細切削加工 / 熱ナノインプリント
研究成果の概要

本研究は、石英ガラス基板上にサブμmサイズの微細金属素子を製造するための低コストで効率的な加工技術の開発を目指した。このためにまず微細切削加工実験と微細塑性加工が行える微細複合機械加工装置を開発し、また単結晶ダイヤモンド製微細型工具を開発し、その加工特性を明らかにした。さらに微細機械加工と焼鈍による自己組織化により、金属ナノドットアレイや二重ナノロッドアレイなど特異な光学特性を有する微細金属素子を作製出来ることを示した。さらに母型に加工した微細構造を熱ナノインプリント法でプラスチック膜に転写し、それを用いたケミカルスタンプ法を提案し、金属微細素子の効率的製造法の可能性を示した。

自由記述の分野

加工学

URL: 

公開日: 2019-03-29  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi