2016 年度研究成果報告書

ナノNMRセンシングを可能とする高機能ダイヤモンド合成

研究課題

研究課題/領域番号	26249108
研究種目	基盤研究(A)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	構造・機能材料
研究機関	国立研究開発法人産業技術総合研究所
研究代表者	渡邊幸志国立研究開発法人産業技術総合研究所, 電子光技術研究部門, 主任研究員 (50392684)
研究分担者	伊藤公平慶應義塾大学, 理工学部, 教授 (30276414)
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード	センサー / 光機能材料 / ダイヤモンド / マイクロ波プラズマ / NMR / ホモエピタキシャル成長 / ソリッドステート
研究成果の概要	ナノNMRセンシングを可能とする高機能ダイヤモンド合成法の開発に向け、従来のマグネトロン方式に代えて、マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜合成でほとんど試されていない高純度マイクロ波（ソリッドステート方式）に着目したホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜合成を研究した。薄膜合成の系統的実験により、従来のマグネトロン方式では達成できなかった結晶欠陥の抑制と高品質な極浅NVペア形成を実証するとともに、ソリッドステート方式のCVD法の特徴を明確化した。
自由記述の分野	物質工学