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テラヘルツ（THz）電磁波を用いた技術は、物質科学や生命科学など自然科学の多岐にわたる分野で強力な計測ツールとなることが期待されている。本研究は、THzエバネッセント波を、サブ波長空間で制御する技術を開発し、新たなナノ物性研究へ応用することを目的として行われた。半導体微小センサをスキャンするシステムにより、半導体デバイスの電極からの電子注入に伴うTHz発光近接場分布の可視化に成功した。また、シリコン3次元構造と金属膜とのハイブリッド構造を作製することで、サブ波長空間における高いTHz電界増強効果ならびに極微小な試料のTHzセンシングを達成した。
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