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2016 年度 研究成果報告書

半導体チャネルを介した磁気抵抗比の増大に関する研究

研究課題

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研究課題/領域番号 26286036
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 応用物性
研究機関東北大学

研究代表者

手束 展規  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (40323076)

研究分担者 斉藤 好昭  株式会社東芝研究開発センター, 研究開発センター, 研究主幹 (80393859)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワードスピントロニクス / スピン注入 / 磁気抵抗効果 / 半導体 / スピントランジスタ
研究成果の概要

Si/MgO/強磁性体素子において、スピン信号とソース・ドレイン端子間距離依存性について、実験を行った。微細素子作製条件(ミリング条件)の最適化をおこなうことで、Siチャネル上の金属再付着物を減らせることが分かった。また、電極にCo2FeSiホイスラー合金を用いて、素子を作製した結果、室温でスピン注入効率40%を達成した。この場合、局所測定配置での磁気抵抗比約1%を得た。
次に、Si半導体上に強磁性トンネル接合(絶縁体:MgO、電極:CoFeBとWの反平行結合膜)を作製した結果、比抵抗約10μm2、磁気抵抗比約250%の特性を得た。

自由記述の分野

スピントロニクス

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公開日: 2018-03-22  

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