| 研究課題/領域番号 |
26286049
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
山崎 順 大阪大学, 超高圧電子顕微鏡センター, 准教授 (40335071)
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| 研究分担者 |
佐々木 宏和 古河電気工業株式会社研究開発本部横浜研究所, その他部局等, 主席 (70649821)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| キーワード | 回折顕微法 / 位相イメージング / 電子線 |
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| 研究実績の概要 |
手法の精度を改善する取り組みとして、前年度に開発した小角散乱電子回折図形の精密記録方式についてさらに改良を重ね、サブピクセル精度でのデータ足し合わせ方法を確立した。これによって足し合わせ結果に表れるボケ関数をより小さくできるようになったため、前年度に開発したデコンボリューションによる補正方法の適用範囲が広がり、以前よりも明るく集束した電子ビームでの計測も可能となった。また前年度の強度フィッティング解析に考慮されていなかったレンズ色収差の影響について検討し、電子顕微鏡の回折モードでの光軸調整を行うことにより影響を回避できることを明らかとした。また電子回折取得中の試料ドリフトの影響についてデータ解析を行い、再構成位相精度に重要な影響を与えることを明らかとした。上記の判明した内容を考慮して計測方法を改良し、薄膜試料を用いた再構成結果において約0.1radの位相精度を達成することに成功した。確立した計測手法を用いて、試料エッジから数μm以上離れた観察領域の位相像を高い精度で取得することに成功し、電子線ホログラフィーに対する明確な優位性を示すことに成功した。
また三次元観察への応用展開の取り組みとして、実験で得られた位相像のフレネル伝播計算を行い、振幅伝播・位相伝播ともにモデル構造に基づくシミュレーション結果と十分一致していることを確認した。この手法を高分解能位相像観察に発展適用した場合の効果についてシミュレーションで検証し、原子レベルでの三次元構造観察の可能性があることを確認した。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
3: やや遅れている
理由
定量性のある再構成結果を得るための実験条件とデータ処理手順を確立することに成功し、本課題研究の重要目標の一つである電子線ホログラフィーに対する優位性を示す結果を得ることに成功した。また三次元観察への応用展開の取り組みとして、トモグラフィホルダーの開発作製も遂行した。一方で、視野範囲の拡張と、高分解能結像については取り組みを継続中であり、これらの点に関しては次年度に持ち越しとなっている。
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| 今後の研究の推進方策 |
27年度までに達成できなかった計画の遂行に加え、開発したトモグラフィホルダーを用いた三次元構造観察のデータ取得に取り組む。この遂行のために必要なFIBを用いたホルダー先端への試料取り付け方法の開発について、分担者と協力して行う。またもう一つの応用展開への取り組みとして計画している、結晶格子歪みイメージングにも取り組む。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
トモグラフィホルダーの開発作製が三月となったため、FIBを用いたホルダー先端への試料取り付け方法の開発が次年度に先送りとなり、そのための経費を年度内に使用しなかった。
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| 次年度使用額の使用計画 |
FIBを用いたホルダー先端への試料取り付け方法の開発に必要な経費として使用する計画である。
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