• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2015 年度 実績報告書

パルス放電プラズマの時間分解発光分光計測と原子分子過程

研究課題

研究課題/領域番号 26286070
研究機関東京工業大学

研究代表者

赤塚 洋  東京工業大学, 原子炉工学研究所, 准教授 (50231808)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワードプラズマ計測 / プラズマ分光 / 原子分子過程
研究実績の概要

実験的には、2年度目は積極的に装置パラメータを変化させて、HeやArに加えてN2やO2を含んだプラズマも対象とし、パルス放電プラズマの特性を変化させ、それによって発光特性の変化する様子を追跡する事を試みた。すなわち、加えるパルスの電圧、パルス幅、パルス立ち上がり速度、放電気圧、などを変化させつつ、He, Ar, N2, O2のそれぞれのプラズマの各励起状態の数密度、さらに分子気体の場合は振動温度や回転温度について、時間変化を詳細に実験的に追跡した。
一方、理論研究としても、HeやArに加えてN2やO2を含んだプラズマも対象とし、26年度と同様、EEDFの時間的変化を時間依存ボルツマン方程式で追跡し、励起種の生成消滅のレート方程式と連立させた解法を研究した。もちろん、これら分子種のカイネティックスには主要な電子状態の振動励起状態なども含める。26年度と異なり、衝突項に、窒素分子振動励起状態との衝突による超弾性衝突も含めた。窒素プラズマの各電子励起状態の振動励起状態も時間依存の関数として計算し、超弾性衝突と振動励起緩和の関係を十分モデルに取り入れた。ボルツマン方程式の過渡変化を取り入れるために、定常状態で確立したストラテジーが現実のパルス放電プラズマに対しても適用できる事を実験的に確認した。
また、実験結果を理論研究にフィードバックして反応理論モデリングの改良を加える。窒素分子・酸素分子の励起準位や解離して生じるラジカルなどについても、主要な気相化学反応も含めた励起種生成消滅の時間依存方程式を立式し、それらも含めたパルス放電プラズマの発光分光計測に堪えるレート方程式理論モデルの作成・改善を実施した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

実験的に、積極的に装置パラメータを変化させて、HeやArに加えてN2やO2を含んだプラズマも対象としプラズマの特性を変化させ、それによって発光特性の変化する様子を追跡する事ができた。すなわち、加えるパルスの電圧、パルス幅、パルス立ち上がり速度、放電気圧、などを変化させつつ、He, Ar, N2, O2のそれぞれのプラズマの各励起状態の数密度、さらに分子気体の場合は振動温度や回転温度について実験的に放電条件への依存性を追跡できている。
一方、理論研究としても、HeやArに加えてN2やO2を含んだプラズマも対象とし、26年度と同様、EEDFの時間的変化を時間依存ボルツマン方程式で追跡し、励起種の生成消滅のレート方程式と連立させた解法を研究できた。もちろん、これら分子種のカイネティックスには主要な電子状態の振動励起状態なども含められた。26年度と異なり、衝突項に、窒素分子振動励起状態との衝突による超弾性衝突も含めた。窒素プラズマの各電子励起状態の振動励起状態も時間依存の関数として計算し、超弾性衝突と振動励起緩和の関係を十分モデルに取り入れた。ボルツマン方程式の過渡変化を取り入れるために、定常状態で確立したストラテジーが現実の放電プラズマに対しても適用できる事を実験的に確認することも、進展しつつある。
また、実験結果を理論研究にフィードバックして反応理論モデリングの改良を加えつつある。窒素分子・酸素分子の励起準位や解離して生じるラジカルなどについても、主要な気相化学反応も含めた励起種生成消滅の時間依存方程式を立式し、それらも含めた放電プラズマの発光分光計測に堪えるレート方程式理論モデルの作成・改善を実施しているところである。

今後の研究の推進方策

28年度前期は理論研究の続きとして、窒素・酸素を含むアルゴンあるいはヘリウムの放電気体を対象として、それらの励起準位・ラジカルをも含めて、励起種生成消滅の時間依存方程式を立式し、反応性気体を含むパルス放電プラズマの発光分光計測に堪える理論モデルへの改善を実施する。
実験研究としては、26-27年度は、放電条件を入力条件として分光特性を測定し、そのメカニズムを考察し解明する事が基本であった。28年度には本研究の最終目標として、これを逆転させ、分光計測結果から電子温度(あるいはEEDF)・電子密度の変化を導出する。すなわち発光特性からプラズマパラメータの特定の可能性を探るという方針に切り替える。これによって求められたEEDFや電子密度、あるいは放電条件変化による電子温度(あるいはEEDF)・電子密度の値の変化が、理論的にも妥当なものであるか否か、自作の理論との合致はもちろん、電気回路的にも矛盾のないものであるかを検討する。また、理論・実験を総合して、電子温度・密度変化に敏感に応答する励起準位の組を見いだすよう努める。平成26-27年度の研究を下に適宜実験を再度実施しつつ確認する。以上を総合して、論文の作成、国際会議および国内学会での成果発表を行い、以降の課題の抽出を行い、総合的な実験・理論の総括を行う。

次年度使用額が生じた理由

実際の放電プラズマを生成するにあたり、幸運なことに当初予想よりも電極の消耗や放電管の損傷が激しくなく、高価な金属電極材料や石英放電管を大量に必要としなくなったことが挙げられる。合わせて、当初予想よりも放電プラズマの維持のための電気回路に、高価な高耐圧コンデンサを必要とすることがなくなり、さらに電流安定化用のコイルについてもほとんど必要とせず、電気回路部品としても、消耗品の必要量が当初予定のおよそ6割で済んだことが挙げられる。さらに、放電装置の運転が予想以上に簡単で、当初計上していた学生アルバイト謝金を全く必要としなくなったことが最も大きい要因である。

次年度使用額の使用計画

アジア圏の国際会議に出席すべく、海外出張旅費として使用を計画している。(ICPP, 台湾、高雄市)

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2016 2015

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 5件)

  • [雑誌論文] Spectroscopic Investigation of the NO C 2Π De-excitation Process by Collision with O2 X 3Σg- in a Low-pressure N2-O2 Mixture Microwave Discharge2016

    • 著者名/発表者名
      H. Tan, A. Nezu, and H. Akatsuka
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 55 ページ: 01AH04

    • DOI

      10.7567/JJAP.55.01AH04

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Excited State Distributions of Hydrogen Atoms in Microwave Discharge Hydrogen Plasma and Effect of Electron Energy Probabilistic Function2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, Y. Kittaka, A. Nezu, H. Matsuura and H. Akatsuka
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Sci.

      巻: 43 ページ: 1158 - 1168

    • DOI

      10.1109/TPS.2015.2419224

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Kinetic Model and Spectroscopic Measurement of NO (A, B, C) States in Low Pressure N2-O2 Microwave Discharge2015

    • 著者名/発表者名
      H. Tan, A. Nezu, and H. Akatsuka
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 54 ページ: 096103

    • DOI

      10.7567/JJAP.54.096103

    • 査読あり
  • [学会発表] Spectroscopic Observation of γ, β and δ Bands of NO Excited States and Relevant Excitation Kinetics in Low-Pressure N2-O2 Microwave Discharge2015

    • 著者名/発表者名
      H. Tan, A. Nezu and H. Akatsuka
    • 学会等名
      Proc. 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology (APSPT 9) / 28th Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (SPSM28)
    • 発表場所
      Nagasaki, Japan
    • 年月日
      2015-12-12 – 2015-12-14
    • 国際学会
  • [学会発表] Spectroscopic Observation of NO (A, B, C) States and their Chemical Kinetics in Low-pressure N2-O2 Microwave Discharge2015

    • 著者名/発表者名
      H. Tan, A. Nezu and H. Akatsuka
    • 学会等名
      3rd ISNPEDADM 2015 (New Electrical Technologies for Environment)
    • 発表場所
      St. Gille de Lebins, ReUnion, France
    • 年月日
      2015-10-26 – 2015-10-29
    • 国際学会
  • [学会発表] Spectroscopic Examination of Molecular Spectra in Mixture Gaseous Microwave Discharge (N2-O2 and N2-H2)2015

    • 著者名/発表者名
      H. Tan, A. Nezu and H. Akatsuka
    • 学会等名
      68th Annual Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing (GEC-ICRP-SPP)
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii, USA
    • 年月日
      2015-10-12 – 2015-10-16
    • 国際学会
  • [学会発表] Possibility of Electron Temperature And Density Monitoring Of Argon Plasma By Intensity Ratio Measurement Of Ar I Lines2015

    • 著者名/発表者名
      H. Akatsuka
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-09-20 – 2015-09-23
    • 国際学会
  • [学会発表] 衝突輻射モデル解析と線強度比測定による低気圧アルゴンプラズマの簡便な電子温度・密度のモニタリングの可能性2015

    • 著者名/発表者名
      赤塚 洋
    • 学会等名
      平成2 7 年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2015-09-17 – 2015-09-18
  • [学会発表] Vibrational and Rotational Temperature Dependence of NH in Microwave N2 - H2 Mixture Gas Discharge2015

    • 著者名/発表者名
      Hao Tan, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka
    • 学会等名
      2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] Optical Emission Spectroscopic Observation of Low-pressure N2-O2 Mixture Plasma and its Excitation Kinetics in a Lab-scale Discharge Experiment2015

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Akatsuka, Hao Tan, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura
    • 学会等名
      平成27年度公益社団法人日本分光学会年次講演会
    • 発表場所
      東工大・大岡山
    • 年月日
      2015-06-01 – 2015-06-03
  • [学会発表] Vibrational and Rotational Temperatures of NO A 2Σ+ Metastable State in N2-O2 Mixture Microwave Discharge2015

    • 著者名/発表者名
      H. Tan, A. Nezu and H. Akatsuka
    • 学会等名
      42nd IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2015)
    • 発表場所
      Antalya, Turkey
    • 年月日
      2015-05-25 – 2015-05-28
    • 国際学会

URL: 

公開日: 2017-01-06  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi