波長分散型蛍光X線分光法に基礎を置く蛍光X線イメージング分光器を開発し、大型試料の迅速分析を目指して、装置の改良や実証実験を行った。実験の項目毎に研究実績を報告する。 1)空間分解能の向上: 試料と分光結晶の距離を短くし、ゴニオメーターを改良することにより、装置の小型化を図り、空間分解能を評価した。分光結晶と検出器の間にも直線型ポリキャピラリーを導入することにより、200ミクロン程度にさらに向上することを確認した。用いた2次元検出器のピクセルサイズが100ミクロンであったことを考えると良い成果が得られたと考えられる。 2)高速元素イメージング: 高感度な2次元検出器を導入することにより、バルク試料中の主成分元素であれば、1秒以下の短時間にイメージングできることを確認した。これは他のイメージング手法と比較しても大きな利点である。この特性を生かして、電子部品中の鉛や銅などの分布を短時間で可視化できることを実証し、酸溶液中での金属の溶解過程をその場で元素毎にモニタリングすること、すなわち動画撮影に成功した。 3)大面積イメージングへ: 2次元コリメーターとして2つのソーラースリットを直交して用いることを考案し、確認実験を行った。その結果、スーラ―スリットの間隔が狭い場合、画像が得られることが分かった。今後、2次元コリメーターの大きさによる制限を受けることなく、XRFイメージングができる可能性が確認された。
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