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2016 年度 研究成果報告書

蛍光X線高速元素イメージング分光器の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 26288069
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 分析化学
研究機関大阪市立大学

研究代表者

辻 幸一  大阪市立大学, 大学院工学研究科, 教授 (30241566)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワードX線 / 可視化 / 解析・評価 / イメージング
研究成果の概要

波長分散型蛍光X線分光法に基礎を置く蛍光X線イメージング分光器を開発した。試料と分光結晶の距離を短くして装置の小型化を図り、空間分解能を向上させることに成功した。試料を2次元移動ステージに取り付けて、試料位置を走査することにより、大きな試料に対しても元素分布像を得る手法を開発した。また、高感度な2次元検出器を導入することにより、バルク試料中の主成分元素であれば、1秒以下の短時間にイメージングできることを確認した。この特性を生かして、電子部品中の鉛や銅などの分布を短時間で可視化できることを実証し、酸溶液中での金属の溶解過程をその場で元素毎にモニタリングすること、すなわち動画撮影に成功した。

自由記述の分野

X線分光分析

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公開日: 2018-03-22  

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