| 研究課題/領域番号 |
26289066
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| 研究機関 | 徳島大学 |
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研究代表者 |
岩田 哲郎 徳島大学, 大学院理工学研究部, 教授 (50304548)
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| 研究分担者 |
安井 武史 徳島大学, 大学院理工学研究部, 教授 (70314408)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| キーワード | テラヘルツ / エイプソメータ / 膜厚測定 / 塗装膜 / 薄膜 / 光計測 / 分光計測 / 幾何学的位相 |
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| 研究実績の概要 |
本研究では，「二重変調タンデムロックイン検出方式テラヘルツ周波数領域エリプソメータ」の提案と製作，及び評価を目的とした．すなわち，通常の可視・紫外領域及び赤外領域では不透明で測定が殆ど行えない工業材料や生体関連試料の精密な評価を目的とした．本最終年度年度までで，当初の目的であった装置を完成させ論文としてまとめた．提案した装置は，テラヘルツ時間領域分光法(THz-TDS; terahertz time-domain spectroscopy)の装置を基本とし，それが全帯域の周波数情報を一度に取得できる点と，モノサイクルTHz電場波形を直接測定できる点に着目した．それをフーリエ変換すればエリプソメータのパラメータであるΔ，Ψの周波数依存性が直ちに得られ，分光情報にも直結しているからである。これによって，金属面上の塗装膜の測定が行えることを示し，二層膜の測定の可能性を解説論文としてまとめた．一方で，アルミニウム基板上に2.0mm間隔で周期的に設けた直径1.0mmの10×10の右ネジ，左ネジのアレーを用意し，THz-TDSを用いてテラヘルツ周波数領域での幾何学的位相の直接測定の可能性を示した．さらに，一連の研究の過程で，理論的かつ実験的に可視周波数領域ではあるが，マルチチャネルフーリエ分光器を用いた幾何学的位相の非線形挙動を利用した旋光分散測定手法の提案を新規に行い，それらを論文としてまとめた．
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| 現在までの達成度 (段落) |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 今後の研究の推進方策 |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 次年度使用額の使用計画 |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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