| 研究課題/領域番号 |
26289074
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 一部基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
電力工学・電力変換・電気機器
|
|---|
| 研究機関 | 名古屋大学 |
|---|
研究代表者 |
元廣 友美 名古屋大学, 未来社会創造機構, 教授 (20394421)
|
|---|
| 研究分担者 |
杉本 憲昭 株式会社豊田中央研究所, 環境・エネルギー1部, 研究員 (60394714)
|
|---|
| 連携研究者 |
梶野 勉 ㈱豊田中央研究所, 研究推進部, 部長 (10394636)
竹田 康彦 ㈱豊田中央研究所, 環境・エネルギー2部・エネルギー変換材料研究室, 室長 (10394660)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
|
| キーワード | 超電導磁気エネルギー貯蔵（SMES） / MEMS / 螺旋コイル / 超電導薄膜・ / シリコンウェハ / 銅めっき / 極低温冷凍機 / 化学機械研磨（CMP） |
|---|
| 研究成果の概要 |
従来の巨大な超電導磁気エネルギー貯蔵装置（SMES）を小型化し、超電導薄膜でできた螺旋状コイルの埋め込まれたSiウェハの積層体でSMESを作る新しい方法を提案した。
この方法はSMESの大量生産にも適する。エネルギー貯蔵容量が蓄電池に匹敵し、Siの機械的強度で、発生する電磁応力に耐えることが理論的に予測できたので、この方法によりSMESの実現が可能と判断した。複数回の試作を経て、4インチSiウェハに設けた螺旋状トレンチ内に形成した螺旋状NbN超電導薄膜コイルで、設計通りのエネルギー貯蔵量が確認できたので、この新しいSMESの作り方を実証できた。これにより、新たなSMESの応用展開が期待できる。
|
| 自由記述の分野 |
応用物理
|
