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2017 年度 研究成果報告書

表面プラズモンを用いた光・電子融合デバイス基盤技術の創製

研究課題

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研究課題/領域番号 26289103
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関豊橋技術科学大学

研究代表者

福田 光男  豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50378262)

研究分担者 石井 佑弥  豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (30633440)
石山 武  豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (40314653)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2018-03-31
キーワード表面プラズモン / 光・電子集積回路 / 光回路 / 光デバイス / 近接場光
研究成果の概要

ナノスケール領域で光(表面プラズモン)と電子の融合したデバイス集積のための技術開発に向け、表面プラズモンの伝播方向が制御可能な多重スリット付導波路、電気的には分離されているが表面プラズモンは伝播する導波路を実現した。さらに、MOSFETのゲート電極へ、これらの導波路を複数接続することにより、それぞれの信号でMOSFETが動作すること及び複数の表面プラズモンのビート信号でMOSFETが動作することを実験的に確認した。また、単一および多モード導波路のみからなる半加算器を作製し、その動作を実験的に確認した。本開発により、光デバイスと電子デバイスが融合した集積回路の可能性を示すことができた。

自由記述の分野

フォトニクス

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公開日: 2019-03-29  

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